Tetrakis(diethylamino)zirconium 的分子结构, CAS编号: 13801-49-5
Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5)
CAS号码:
13801-49-5
分子量:
379.74
分子式:
C16H40N4Zr
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四（二乙氨基）锆是一种主要研究其在材料科学中的应用的化学物质，特别是在原子层沉积（ALD）工艺领域。这种化合物作为锆前体，能够精确沉积含锆薄膜，这些薄膜是半导体器件制造不可或缺的。它在受控条件下的反应性允许研究表面化学和薄膜生长动力学，这对提高电子元件性能至关重要。化学家经常在合成锆基陶瓷和催化剂时使用这种化合物，探索其配体对合成材料性能的影响。此外，由于这些结构在气体储存和分离应用中的潜力，它在生产金属有机框架（MOF）方面的应用具有重大意义。
Tetrakis(diethylamino)zirconium (CAS 13801-49-5) 参考文献
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- 通过锗上原子价层沉积 ZrO2/La2O3 电介质的沉积后退火稳定极高 K 值结晶 ZrO2 相 | S. Abermann, C. Henkel, O. Bethge, G. Pozzovivo, P. Klang, E. Bertagnolli. 2010. Applied Surface Science. 256: 5031-5034.
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Tetrakis(diethylamino)zirconium, 5 g | sc-272578 | 5 g | RMB970.00 |