Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) 的分子结构, CAS编号: 19824-59-0
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0)
应用:
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) 是氮化钽薄膜的挥发性固体 CVD 前驱体
CAS号码:
19824-59-0
分子量:
401.33
分子式:
C10H30N5Ta
仅供科研使用。不可用于诊断或治疗。
* 参考分析证明 大量特定数据 (包括水 含量).
快捷链接
订购信息
描述
技术信息
安全信息
安全技术说明书和分析证明书
五（二甲基氨基）钽（V）是氮化钽薄膜的挥发性固体 CVD 前驱体。当沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时，它也能生成氧化钽薄膜。
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) (CAS 19824-59-0) 参考文献
1. Son, K. -A. et. al. J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1670, (1998) 2. Son, K. -A. et. al. Appl. Phys. Lett. 72, 1187, (1998)订购信息
| 产品名称 | 产品编号 | 规格 | 价格 | 数量 | 收藏夹 | |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V), 5 g | sc-236320 | 5 g | RMB4682.00 |